【摘 要】
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In this paper, damages and annealing effects of X,Y and Z cut LiNbO-3 implanted by 350keV high energy Ti (1.5 x 10~(17) / cm~2) are studied. The surface damage
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In this paper, damages and annealing effects of X,Y and Z cut LiNbO-3 implanted by 350keV high energy Ti (1.5 x 10~(17) / cm~2) are studied. The surface damages of X,Y cut plates are nearly amorphous, but the surface damage of Z cut does not reach saturation. Radiation damage is mainly due to Nb moving atoms and Ti atoms occupy the interstitial sites. By annealing the sample at 1000℃, most damage is removed from the boundary between implanted layer and LiNbO_3 base to surface.
In this paper, damages and annealing effects of X, Y and Z cut LiNbO-3 implanted by 350 keV high energy Ti (1.5 x 10 ~ (17) / cm ~ 2) are studied. Nearly amorphous, but the surface damage of Z cut does not reach saturation. Radiation damage is mainly due to Nb moving atoms and Ti atoms occupy the interstitial sites. By annealing the sample at 1000 ℃, most damage is removed from the boundary between implanted layer and LiNbO_3 base to surface.
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