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来源 :半导体学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
用金属有机物化学气相沉积法生长GaAs/AlGaAs量子阱材料,并制成红外探测器。测量了材料的光致光光谱和探测器的光电流响应光谱及其它光电特性,峰值波长7.9μm,响应率达到6*10^3V/W,与分子束外延法生长的材
【作 者】
:
李娜
Tan
HH
【机 构】
:
ShanghaiInstofTechnicalPhysics
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
ALGAAS
量子阱
红外探测器
MOCVD
砷化镓
GaAs/AlGaAs MQW
Infrared Photodetector
MOCVD
MBE
【基金项目】
:
国防科工委重点资助项目
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