【摘 要】
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一、前言金属氧化物半导体气敏传感器,由于其灵敏度高、寿命长、价格低、重量轻等优点,显示出广泛应用的潜力。到目前为止气敏材料的研究已逐渐从单纯的实验室配方的研究进
【机 构】
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中国科学技术大学应用化学系,中国科学技术大学应用化学系,中国科学技术大学应用化学系,中国科学技术大学应用化学系,
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一、前言金属氧化物半导体气敏传感器,由于其灵敏度高、寿命长、价格低、重量轻等优点,显示出广泛应用的潜力。到目前为止气敏材料的研究已逐渐从单纯的实验室配方的研究进入了有一定理论指导的、能适当进行材料设计的阶段,特别是出现了微处理机与敏感元件相结合的新趋势,促进了传感器日益趋于集成化、叠层化、多功能化和智能化。气敏元件的种类也越来越多,最常见的有三种类型,即烧结型、薄膜型和厚膜型。厚膜型
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