【摘 要】
：
本文描述了欧姆接触的测试原理和测定欧姆接触比接触电阻的微机自动测试系统,并用该系统对制备的欧姆接触进行了测量,其测量精度优1%,测试系统使用方便,操作简单,获得结果迅
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
论文部分内容阅读
本文描述了欧姆接触的测试原理和测定欧姆接触比接触电阻的微机自动测试系统,并用该系统对制备的欧姆接触进行了测量,其测量精度优1%,测试系统使用方便,操作简单,获得结果迅速、可靠,适合于半导体器件的欧姆接触工艺研究与监控中比接触电阻的测定.
This paper describes the principle of ohmic contact measurement and ohmic contact resistance measurement contact resistance of the microcomputer automatic test system, and the use of the system for the preparation of ohmic contact was measured, the measurement accuracy of 1% better, the test system easy to use, easy to operate, to obtain the results Rapid, reliable, suitable for semiconductor devices ohmic contact process research and monitoring than the determination of contact resistance.
其他文献
目的:探讨产前产后护理干预在前置胎盘产妇中的作用.方法:选取我院2017年7月至2019年7月接诊的前置胎盘产妇80例作为研究,将其按照电脑随机表法平均分成观察组和对照组,每组
目的:调查的目的是了解和分析女性居民健康知识及格率及其分布,为有针对性地开展健康教育提供依据.方法:于2015年10至11月在淮安市抽取清河区、涟水县分别作为城市和农村点,
在多伦多证券交易所上市的约4000家公司中,56家来自中国,其中即包括2011年被浑水研究公司(Muddy Water Research)质疑财务真实性的嘉汉林业(Sino-Forest,TSX:TRE)。近期,就中
目的:探讨于超高龄骨折手术患者中腰麻-硬膜外麻醉的应用价值进行分析.方法:选2018年2月至2019年12月来我院就诊的86例超高龄骨折例患者开展研究,所有患者均根据病情选择针对
目的:分析阿比特龙及多西他赛用于去势抵抗性前列腺癌治疗的不良反应及药物经济学差异.方法:选我院前列腺癌患者40例.将纳入患者分成接受多西他赛治疗的对照组以及接受阿比特
以VHF/UHF通信组网为切入点,探讨基于互联网、综合运用各种通信技术组织短波广域通信网,为移动短波用户提供广域覆盖接入。
Based on the VHF / UHF communication networki
目的:探讨养阴益气汤辅助治疗2型糖尿病胰岛素抵抗的效果.方法:选择50例2型糖尿病胰岛素抵抗患者为试验对象,2018年1月至2019年1月是收治时间,选择单双号随机化分组为对照组
目的:阐述冠心病心绞痛患者辅以优质护理服务干预的具体措施及临床应用价值.方法:此次研究时间由2018年1月至2019年6月止,研究目标选择我院期间收治冠心病心绞痛患者88例,结
２０世纪末，日本的平成年代由最初的“平成景气”演化为“平成恐慌”，不仅使日本遭受了 沉重打击，对东亚乃至世界经济都带来了难以估量的负面影响。“平成恐慌”有其经济、金融、政
目的 探究溃疡性结肠炎采用肠炎康合并美沙拉嗪治疗的临床疗效.方法 选用2018年9月至2019年9月期间于我院接受治疗的60例溃疡性结肠炎患者的临床资料纳入研究,并依照随机数表