【摘 要】
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Surface wave plasma (SWP) is a kind of low temperature plasma which can be utilized for material development. In this research, argon and oxygen were used as a
【机 构】
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日本鸟取大学,Tottori University,Nissin inc.
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Surface wave plasma (SWP) is a kind of low temperature plasma which can be utilized for material development. In this research, argon and oxygen were used as a working gas for an SWP experiment and the influence of the plasma irradiation on a copper surface was examined. Particular, relation between the spatial characteristics of SWP and wetting characteristics was examined. As a result, it was found that spatial characteritics of the SWP affected the wetting characteristics and the oxidation characteristics.
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