【摘 要】
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设计制作了一种Au/ZnO/Al结构的紫外探测器,光的入射方式采用背入射式。ZnO薄膜是用磁控溅射在蓝宝石衬底上制备的。I-V测试表明:Au与ZnO形成了肖特基接触。得到探测器的光响
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,中国科学院研究生院,长春理工大学材料科学与工程学院,
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设计制作了一种Au/ZnO/Al结构的紫外探测器,光的入射方式采用背入射式。ZnO薄膜是用磁控溅射在蓝宝石衬底上制备的。I-V测试表明:Au与ZnO形成了肖特基接触。得到探测器的光响应峰值在352nm,截止边为382nm,可见抑制比达一个量级。由于该探测器是一种垂直结构器件,对于进一步实现ZnO紫外探测器阵列及单光子探测有很好的研究价值。
A UV detector with Au / ZnO / Al structure has been designed and fabricated. The incident light is back-injected. ZnO thin films were prepared by magnetron sputtering on sapphire substrates. The I-V test shows that Au forms Schottky contact with ZnO. The peak photoresponse of the detector was obtained at 352 nm and the cutoff edge was at 382 nm, showing a suppression ratio of one order of magnitude. As the detector is a vertical structure of the device, for further ZnO ZnO detector array and single-photon detection has good research value.
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