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采用电弧熔炼（CA）和机械合金化（MA）方法制备了晶粒尺寸差别较大的二元单相Cu-Si合金（CA Cu-0．6Si和MA Cu-0．6Si，CA Cu-3．6Si和MACu-3．6Si），并研究了它们在700和800℃纯O2中的高温氧化行为。用光学显微镜（0M）、X射线衍射仪（XRD）及带有能谱的扫描电子显微镜（SEM／EDX）等对合金组织、氧化膜形貌及组成等进行观察和分析。结果表明：2种方法制备的Cu-Si合金氧化后均形成了CuO→Cu2O→Cu2O＋SiO2（富SiO2）→内氧化区结构的氧化膜，但未形