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电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）是近年来借助高科技手段发展起来先进的检测分析技术，由于该技术在元素分析检测中能够一次性同时检测几十种金属元素和非金属元素，检测范围广，且方法灵敏、精度高、速度快、效率高，尤其在痕量元素的定量检测分析中，具有无法比拟的优越性，目前国外已有多家厂商研制开发出电感耦合等离子体质谱分析仪器，并运用于多种领域的分析。淮河流域水环境监测中心于2002年在国内水利行业中率先引进美国热电公司生产的电感耦合等离子体质谱仅，并用于环境样品中元素的检测分析，取得了良好效果。