【摘 要】
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由于CdZnTe（CZT）探测器尺寸和能量分辨率受到工艺限制,采用电容性Frisch栅探测器结构,将多个薄的单元探测器并行叠加使其等效为大体积的探测器,用于克服单元小探测器探测效率低
【基金项目】
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国家自然科学基金（50902091）, 上海市重点学科建设项目（S30107）
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由于CdZnTe（CZT）探测器尺寸和能量分辨率受到工艺限制,采用电容性Frisch栅探测器结构,将多个薄的单元探测器并行叠加使其等效为大体积的探测器,用于克服单元小探测器探测效率低的缺点,同时单极电荷的几何结果有效克服了载流子的复合.探测器的电极接触为肖特基接触（In-p/CZT-AuCl3）,进一步压缩了权重势,降低了噪声,降低了漏电流,从而得到大体积多元并行探测器的能量分辨率不受单元能量分辨率最差探测器的限制,并且探测效率为单元探测器的2.45～7.31倍.
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