【摘 要】
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文章在研究了共焦法测量传感器及其测量系统的基础上, 提出了一种通过测量连续两个峰值信号的相位差来计算被测表面位置的方法。该测头采用振动音叉调整系统的焦点位置, 用参
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072,天津300072,天津300072
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文章在研究了共焦法测量传感器及其测量系统的基础上, 提出了一种通过测量连续两个峰值信号的相位差来计算被测表面位置的方法。该测头采用振动音叉调整系统的焦点位置, 用参考臂光路提供参考信号。这种测头舍弃了微型位移传感器, 简化了系统结构, 降低了成本。测量范围为±0 1mm, 动态特性为336 点/s, 测量强反射表面允许的最大倾角为±12°。
Based on the research of the confocal measurement sensor and its measurement system, a method of calculating the position of the measured surface by measuring the phase difference between two consecutive peak signals is proposed. The probe uses a vibrating tuning fork to adjust the system’s focus position and a reference arm light path to provide a reference signal. The probe discards the micro-displacement sensor, simplifying the system structure and reducing costs. Measuring range ± 0 1mm, dynamic characteristics of 336 points / s, measuring the maximum allowable reflection angle of the surface is ± 12 °.
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