Fabrication of thick BOX SOI by Smart-cut technology

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：taobixianshi

【摘要】

：

A SOI material with thick BOX (2.2 μm) was successfully fabricated using the Smart-cut technology. The thick BOX SOI microstructures were investigated by high

【作者】

：

WUYan-Jun ZHANGMiao ANZheng-Hu

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofFunctionalMaterialsforInformatics

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

灵活切割技术微观结构截面透射电子显微镜 XTEM 电学特性绝缘硅片 SOI SOI Thick BOX Smart-cut

【基金项目】

：

国家自然科学基金，上海市青年基金

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A SOI material with thick BOX (2.2 μm) was successfully fabricated using the Smart-cut technology. The thick BOX SOI microstructures were investigated by high resolution cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM), while the electrical propert

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