【摘 要】
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利用强短脉冲供电电源和一种新型的辉光放电灯联用进行阴极表面溅射，发现它与在直流供电下有不同的结果．扫描电镜进行观察，得到样品溅射表面的扫描图。结果表明，该技术为金属或合
【机 构】
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国家教委材料与生命过程分析科学开放实验室,中国科学院金属研究所
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利用强短脉冲供电电源和一种新型的辉光放电灯联用进行阴极表面溅射，发现它与在直流供电下有不同的结果．扫描电镜进行观察，得到样品溅射表面的扫描图。结果表明，该技术为金属或合金样品表面的逐层分析提供了一种新方法．
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