氟卤气体传感器及其应用

来源 :沈阳工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sven55
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简要说明使用氟卤化合物对臭氧层的破坏,对地球生态环境的影响。为控制和监测大气中氟卤化合物,必须开发和研制氟卤气体传感器。重点介绍了半导体气体氟卤传感器及其应用。 Brief description of the use of fluorocarbon compounds on the destruction of the ozone layer on the Earth’s ecological environment. In order to control and monitor the fluorine halogen compounds in the atmosphere, it is necessary to develop and develop fluorine halogen gas sensors. Focus on the semiconductor gas fluorine halogen sensor and its application.
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