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期刊论文
MAIP镀TiN工艺对膜基结合的影响
MAIP镀TiN工艺对膜基结合的影响
来源 :热处理技术与装备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zbz963
【摘 要】
:
本文介绍了用多弧离子镀膜(MAIP)技术在高速钢基片表面镀TiN工艺。通过离子轰击清洁和加热后,工件施加高的偏压并同时打开弧源,在膜基界面形成Ti、N、Fe、W、Mo的交混层。这层伪
【作 者】
:
李忠厚
宋刑
宋媛媛
【机 构】
:
青岛滨海学院机电工程学院
【出 处】
:
热处理技术与装备
【发表日期】
:
2013年5期
【关键词】
:
多弧离子镀
镀膜工艺
伪扩散层
结合强度
multi-arc ion plating
plating technology
pseudo diffusion
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本文介绍了用多弧离子镀膜(MAIP)技术在高速钢基片表面镀TiN工艺。通过离子轰击清洁和加热后,工件施加高的偏压并同时打开弧源,在膜基界面形成Ti、N、Fe、W、Mo的交混层。这层伪扩散层的存在,提高了膜基结合强度,为该膜的应用奠定了良好的基础。
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