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运用原子力显微镜与接触角测量仪研究了3-氨丙基三乙氧基硅烷（APTES）自组装膜不同成膜时间的表面形貌平均粗糙度、接触角，并进行了XPS（X射线光电子能谱）元素分析，表明APTES自组装膜以“岛”状生长，随着反应的时间的延长，岛的数量急剧增加，形成平整光滑的膜，进一步延长成膜时间，可能形成多层膜，从而平均粗糙度先增大再减小然后再增大，表面性质一直变化不大。微摩擦磨损实验研究表明，APTES自组装膜大大降低镀Cr钢球与硅片之间的摩擦因数，摩擦因数从0．71左右降低到0．16左右，在分子级润滑中有广阔的应用前