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厚膜集成压力传感器的研制
厚膜集成压力传感器的研制
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanlaiyizhizailiula
【摘 要】
:
通过厚膜力敏工艺技术和厚膜混合集成技术的结合,研制成功厚膜集成压力传感器,能直接和显示仪表连续。为传感器的集成化作了有益的尝试,具有广阔的研究开发前景。
【作 者】
:
马以武
黄英
【机 构】
:
中国科学院合肥智能机械研究所,合肥工业大学
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
集成压力传感器
厚膜
传感器
Integration
Pressure Sensor
Thick Film.
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通过厚膜力敏工艺技术和厚膜混合集成技术的结合,研制成功厚膜集成压力传感器,能直接和显示仪表连续。为传感器的集成化作了有益的尝试,具有广阔的研究开发前景。
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