等离子体方法实现金属管件内表面改性研究进展

来源 :自然科学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuany06

【摘要】

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综述了近年来国内外利用等离子体方法实现金属管件内表面强化的研究进展.介绍了几种管件内表面等离子体源离子注入和沉积技术,并对其优缺点分别加以分析.详细介绍了中国科学

【作者】

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张谷令吴杏芳顾伟超陈光良冯文然牛二武李立吕国华陈睆范松华刘赤子杨思泽

【机构】

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北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080;北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;中国科学院物理研究所,北京凝聚

【出处】

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自然科学进展

【发表日期】

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2006年11期

【关键词】

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等离子体源离子注入金属管件内表面表面改性

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综述了近年来国内外利用等离子体方法实现金属管件内表面强化的研究进展.介绍了几种管件内表面等离子体源离子注入和沉积技术,并对其优缺点分别加以分析.详细介绍了中国科学院物理研究所等离子体物理实验室先后提出的几种等离子体源离子注入方法用于金属管件内表面改性的原理、技术特点及最新研究进展.力图展望管件内壁离子注入技术研究的发展前景.

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