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探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法，制作了微涡轮，微传动齿轮，微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构，实现了齿轮的啮合传动，微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运动。对多晶硅材料的机械物理性能，微机械系统动力学特性进行了测试分析。
多晶硅微机械零件的制作及测试
【摘 要】
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探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法，制作了微涡轮，微传动齿轮，微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构，实现了齿轮的啮合传动，微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运动。对
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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1994年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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