【摘 要】
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日本东芝公司最近用离子注入法研制了超高频晶体管,对硅晶体管一开始就达到工作频率6千兆赫(截止频率十几千兆赫)。这种新技术,根据用质子照射来加速扩散杂质的方案,它此过
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日本东芝公司最近用离子注入法研制了超高频晶体管,对硅晶体管一开始就达到工作频率6千兆赫(截止频率十几千兆赫)。这种新技术,根据用质子照射来加速扩散杂质的方案,它此过去的热扩散法和东芝公司以前所发明的 IBT 法在性能上有大幅度的改善。这次发明的晶体管制造方法,共着眼点以晶体内部的改善为目的,为此,曾用40万电
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