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惯性约束聚变用合金薄膜靶制备方法
惯性约束聚变用合金薄膜靶制备方法
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aa70533028
【摘 要】
:
阐述了与制备惯性约束聚变(ICF)用合金薄膜靶有关的理论和方法,讨论了ICF合金薄膜靶制备中存在的问题与解决方案。对制备方法的选择、组成合金薄膜的性质与结构和成分分布的关系
【作 者】
:
吴卫东
许华
等
【机 构】
:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
合金薄膜靶
制备方法
惯性约束聚变
热蒸发法
磁控溅射
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阐述了与制备惯性约束聚变(ICF)用合金薄膜靶有关的理论和方法,讨论了ICF合金薄膜靶制备中存在的问题与解决方案。对制备方法的选择、组成合金薄膜的性质与结构和成分分布的关系进行了分析及讨论。
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