用离子团束(ICB)技术制备有机薄膜

• 作 者: 薛增泉 刘惟敏 赵兴钰 高鸿钧 徐宇红 竺长新 马自力 庞世
• 机 构: 北京大学无线电电子学系,科学院北京真空物理实验室
• 出 处: 真空科学与技术学报
• 发表日期: 1990年5期
• 关键词: 有机薄膜 ICB 扫描隧道显微镜 结晶特性 聚乙烯薄膜 透射电子显微镜 薄膜晶体 集成器件 有机单分子膜 加速电压

为了将有机薄膜用于半导体或集成器件中,本文研究了用离子团束方法制备聚乙饰薄膜。用透射电子显微镜(TEM)和扫描隧道显微镜(STM)分析了所制备的样品。它们具有相当好的结晶特性,其菱形晶片边长尺寸为2—20μm,通常是(001)面平行于基底表面。用离子团束技术制备的聚乙烯薄膜表面是比较平整、均匀的,杂质和缺陷较少。