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【摘 要】
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本文报道了用国产MBE装置和源材料生长调制掺杂(MD)AlGaAs/GaAs结构材料,用霍耳效应、光荧光测量材料的电学和光学性能,用电化学C-V检测分布特性,用电光检测法评估材料的均匀
【机 构】
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南京电子器件所南京210016
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1991年6期
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