HgCdTe分子束外延薄膜的研制

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本文概要报导我们HgCdTeMBE上作的最近进展。一批面积2.0-16.6cm2,组份x0.188-0.30,载流子浓度7.81×1014~1.0×1016cm-3,迁移率1.0×104~1.45×105cm2v-1.s-1和x射线双晶衍射半峰宽(FWHM)64~100arcsec的N型原生HgCdTe外延膜已经得到,某些参数已接近或达到国外报导的典型值,并在国内首先研制了直径为50mm的HgCdTe外延膜。为了评价材料的特性,用一块X=0.243的外延膜经适当热处理后研制了光伏探测器试验阵列,其最好的一元探测率Dλ*=2.44×1010cmHz1/2W-1(λc=7.9μm)。 This article provides an overview of recent advances in our HgCdTeMBE. A number of areas of 2.0-16.6cm2, component x0.188-0.30, carrier concentration of 7.81 × 1014 ~ 1.0 × 1016cm-3, the mobility of 1.0 × 104 ~ 1.45 × 105cm2v-1. s-1 and x-ray double-crystal diffraction FWHM 64 ~ 100arcsec N-type native HgCdTe epitaxial films have been obtained, some of the parameters have been close to or reach the typical value reported abroad, and the first in the country developed a diameter of 50mm HgCdTe epitaxial film. In order to evaluate the characteristics of the material, an experimental array of photovoltaic detectors was fabricated by using an epitaxial film with X = 0.243 after heat treatment. The best detection rate is λ = 2.44 × 1010cmHz1 / 2W-1 (λc = 7.9 μm).
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