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Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：EchoChina

【作 者】

：

周永  孔翠翠  李晓伟  孙丽丽  郭鹏  周佳  李玉宏 

【出 处】

：

表面技术

【发表日期】

：

2019年01期

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