【摘 要】
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针对超精密微小型复合加工机床的精度时变性和非线性变动问题,综述了超精密机床结构设计、超精密加工精度稳定性、热因素对超精密加工精度影响、结构蠕变引起精度变动4个典型
【机 构】
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北京理工大学精密微小型制造技术研究所,北京理工（滕州）研究院有限公司,山东华颂北理智能科技有限公司,北京北特圣迪科技发展有限公司,山东鲁南机床有限公司
【基金项目】
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国防973(3030020321403);“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项(2012ZX04010-061);装发预研(41423020201);中国博士后科学基金资助项目(2017M620634);山东省重点研发计划(2017CXGC0801)
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针对超精密微小型复合加工机床的精度时变性和非线性变动问题,综述了超精密机床结构设计、超精密加工精度稳定性、热因素对超精密加工精度影响、结构蠕变引起精度变动4个典型方面的研究状况,提出超精密微小型复合加工机床的精度稳定性主要受到力、热、环境变动所引起的结构亚微米级精度的时空变化,并且这些变化的影响机理、变动规律属于非线性特征,因此,超精密复合加工精度稳定性的实现必须解决这些问题。
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