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理论分析了几何尺寸测量误差和复电容测量误差对接触法和非接触法介电谱测量误差的影响,并对二者的误差进行了比较,然后对电极间隙距离、试样介电常数对介电谱测量误差的影响进行了仿真分析。基于介电谱仪测量得到高温硫化硅橡胶的介电谱,分析了几何尺寸(试样厚度)测量误差对接触法和非接触法测量结果准确性的影响。结果表明:非接触法受几何尺寸和复电容测量准确性的影响比接触法要大,对仪器测量的准确性要求较高,容易产生比接触法更大的误差。非接触法的相对介电常数测量误差随试样相对介电常数的增加先快速增大然后逐渐稳定;试样相对介电常