【摘 要】
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全球领先的微电子制造表面处理设备供应商FSI国际有限公司近日宣布其带有ViPR“技术的ZETA喷雾式清洗系统现已提供200mm晶圆工艺，并且已有一家亚洲客户将该项技术成功应用干20
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全球领先的微电子制造表面处理设备供应商FSI国际有限公司近日宣布其带有ViPR“技术的ZETA喷雾式清洗系统现已提供200mm晶圆工艺，并且已有一家亚洲客户将该项技术成功应用干200mm制造之中。FSI的ViPR技术起初为300mm高级技术推出，该项技术凭借一步湿法工艺成功剥离高注入光刻胶的能力，破许多300mm晶圆厂采用。
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