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金刚石薄膜的人工合成及其结合力的评估
金刚石薄膜的人工合成及其结合力的评估
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kouton
【摘 要】
:
在硬质合金WC—Co基体上,用热丝CVD法,人工合成出金刚石薄膜。利用X衍射、激光拉曼光谱和扫描电镜对金刚石薄膜的结构进行了测定,结果是令人满意的。精确测量金刚石薄膜与基体间的结合力
【作 者】
:
王和照
张建军
【机 构】
:
合肥工业大学
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
金刚石薄膜
WC-CO硬质合金
结合力
人工合成
diamond films
hard alloy(WCCo)
adhesion
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在硬质合金WC—Co基体上,用热丝CVD法,人工合成出金刚石薄膜。利用X衍射、激光拉曼光谱和扫描电镜对金刚石薄膜的结构进行了测定,结果是令人满意的。精确测量金刚石薄膜与基体间的结合力是很困难的。本文报导了金刚石薄膜涂层刀具的实际切削结果,并以此来评估该涂层与基体间的结合力。
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