脉冲激光沉积法制备La0.5Sr0.5CoO3薄膜及其结构和表面特性

• 作 者: 刘建 李美亚 官文杰 国世上 赵兴中
• 机 构: 武汉大学
• 出 处: 武汉大学学报：理学版
• 发表日期: 2004年3期
• 关键词: La0.5Sr0.5CoO3 外延生长 脉冲激光沉积 薄膜 La(0.5)Sr(0.5)CoO3 epitaxial growth pulsed-lase
• 基金项目: 国家自然科学基金

利用脉冲激光沉积法在(001)取向的LaAlO3(LAO)衬底上实现了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的外延生长.主要研究了衬底温度(Ts),激光能量(El)和氧气压强(pO2)对薄膜结构和表面形貌的影响.X射线衍射结果显示在Ts＝700～850 ℃的范围内沉积的LSCO薄膜都具有c轴取向.从扫描电子显微镜和原子力显微镜照片可以看出上述3个沉积参数中,氧压对LSCO薄膜表面形貌的影响最为显著,较低氧压下沉积的薄膜具有较光滑的表面.通过实验,确立了能够制备同时具有c轴取向和光滑表面的薄膜的最佳