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提高金属材料离子注入效益的一条新途径
提高金属材料离子注入效益的一条新途径
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lpdshr
【摘 要】
:
本文评述了在金属材料领域中应用离子注入技术的现状;阐明了提高离子注入效益的一条新途径:不仅以离子注入技术改变工模具的性能,延长其使用寿命,而且以离子注入技术来显著提
【作 者】
:
阚希文
【机 构】
:
北京师范大学低能核物理所100875
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
离子注入
金属材料
抗蚀性
Ion implantation
Benefits
New way
Metallic materials.
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本文评述了在金属材料领域中应用离子注入技术的现状;阐明了提高离子注入效益的一条新途径:不仅以离子注入技术改变工模具的性能,延长其使用寿命,而且以离子注入技术来显著提高金属产品的质量。文末还对进一步发展离子注入的前景做了展望。
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