【摘 要】
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本工作采用 P-E 5000型原子吸收光谱仪附 HGA-500型石墨炉,探索了铂族金属的测定方法.对Ru、Rh、Pd、Ir及Pt,测定灵敏度分别为5.8 × 10~(-11)、2.8×10~(-11)、2.6×10~(-11
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所 北京,北京
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本工作采用 P-E 5000型原子吸收光谱仪附 HGA-500型石墨炉,探索了铂族金属的测定方法.对Ru、Rh、Pd、Ir及Pt,测定灵敏度分别为5.8 × 10~(-11)、2.8×10~(-11)、2.6×10~(-11)、2.8×10~(-10)和1.8 × 10~(-10)克;在灵敏度附近,各元素的测定相对标准偏差不超过 9％. 本文所建立的方法灵敏、准确,能满足微量硅样品中的痕量铂族金属掺杂剂的分析.
In this work, PE 5000 atomic absorption spectrometer with HGA-500 type graphite furnace was used to explore the determination method of platinum group metals.The detection sensitivity of Ru, Rh, Pd, Ir and Pt were 5.8 × 10 ~ (-11), 2.8 × 10 ~ (-11), 2.6 × 10 ~ (-11), 2.8 × 10 ~ (-10) and 1.8 × 10 ~ (-10) g respectively. The relative standard deviations 9% .The method established in this paper is sensitive and accurate, which can meet the trace platinum metal dopant analysis in trace silicon samples.
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