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用光刻、离子交换法在玻璃基底上制作了直径分别为40μm,20μm、10μm,总透镜数18万以上的高密度微小透镜面列阵,对其主要参数进行了测量。给出的显微成像照片说明,它们都具有良好的成像质量。最后,在理论分析和实验研究的基础上,给出了透镜微小化极限的判据。
高密度微小透镜面列阵研制
【摘 要】
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用光刻、离子交换法在玻璃基底上制作了直径分别为40μm,20μm、10μm,总透镜数18万以上的高密度微小透镜面列阵,对其主要参数进行了测量。给出的显微成像照片说明,它们都具
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,中国科学院西安光学精密机械研究所西安710068,西安710068,西安710068
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1992年4期
【基金项目】
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国家863计划资助
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