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本文综述了金刚石薄膜(DTF)研究的最新进展,着重分析了金刚石薄膜的制备方法、成膜机理和各种性能表征技术。最后将金刚石薄膜和类金刚石薄膜进行了简单比较。更多还原
金刚石薄膜研究进展述评
【摘 要】
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本文综述了金刚石薄膜(DTF)研究的最新进展,着重分析了金刚石薄膜的制备方法、成膜机理和各种性能表征技术。最后将金刚石薄膜和类金刚石薄膜进行了简单比较。更多还原
【机 构】
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中科院上海光机所,中科院上海光机所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1989年6期
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