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在集成电路工业中当器件的线宽变得越来越小时,设备制造商必须通过改进现存的应用与发展新的应用来达到或超过不断加严的制造工艺需求.因此,依靠使用臭氧和稀释的氢氟酸来减低化学物品和去离子超纯水的消耗的要求已经被制造商们提出来了[1～3].
利用成批喷雾式方法降低周期时间并提高工艺性能
【摘 要】
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在集成电路工业中当器件的线宽变得越来越小时,设备制造商必须通过改进现存的应用与发展新的应用来达到或超过不断加严的制造工艺需求.因此,依靠使用臭氧和稀释的氢氟酸来减
【机 构】
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FSIInternational,TexasInstruments
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2004年7期
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