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数字式电容测微仪的研制
数字式电容测微仪的研制
来源 :国防科技大学学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户:kornnay
【摘 要】
:
本文研制了一种用于微位移和振动测量的新型仪器——数字式电容测微仪,介绍了它的工作原理、性能指标以及特点,分析了电容传感器两极板不平行对测量精度的影响程度。测试表明该仪器具有体积小、精度高、成本低等优点,具有广泛的应用前景。
【作 者】
:
李红燕
李均
【机 构】
:
国防科技大学精密机械与仪器系,国防科技大学精密机械与仪器系
【出 处】
:
国防科技大学学报
【发表日期】
:
1992年02期
【关键词】
:
电容传感器
电容测微仪
数字式
micro-displacement
capacitive sensor
measurement
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本文研制了一种用于微位移和振动测量的新型仪器——数字式电容测微仪,介绍了它的工作原理、性能指标以及特点,分析了电容传感器两极板不平行对测量精度的影响程度。测试表明该仪器具有体积小、精度高、成本低等优点,具有广泛的应用前景。
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