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随着国际经济形势的好转,IC相关产业在未来的几年内将会得到迅猛的发展,而清洗设备作为IC生产线上不可或缺的构成部分,也将会有巨大的市场前景。半导体硅片生产工艺的全过程都与清洗有关,硅片清洗工艺的多样性,决定清洗设备的不同选
扩散前清洗工艺与设备
【摘 要】
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随着国际经济形势的好转,IC相关产业在未来的几年内将会得到迅猛的发展,而清洗设备作为IC生产线上不可或缺的构成部分,也将会有巨大的市场前景。半导体硅片生产工艺的全过程
【机 构】
：
北京七星华创微电子设备分公司清洗所所长
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年3期
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