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组合逆向反射镜系统在二维精密工作台激光定干涉仪中起着立方角棱镜的作用.但它在晃动中易于引起附加光程.本文导出了附加光程的计算公式,提出了减小误差的措施.
组合递向反射镜系统中测量镜的晃动引起的附加光程
【摘 要】
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组合逆向反射镜系统在二维精密工作台激光定干涉仪中起着立方角棱镜的作用.但它在晃动中易于引起附加光程.本文导出了附加光程的计算公式,提出了减小误差的措施.
【机 构】
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上海科学技术大学精密机械系
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1990年10期
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