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在相同SiO2悬浮液浓度下,采用改进的双基片垂直沉积法成功制备了不同膜厚的SiO2光子晶体薄膜.研究发现,通过调节两基片间夹层厚度可以很好地控制样品薄膜厚度,不同厚度SiO2光子晶体的表面形貌也有一定的变化.
膜厚可控SiO2光子晶体的制备与研究
【摘 要】
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在相同SiO2悬浮液浓度下,采用改进的双基片垂直沉积法成功制备了不同膜厚的SiO2光子晶体薄膜.研究发现,通过调节两基片间夹层厚度可以很好地控制样品薄膜厚度,不同厚度SiO2光
【机 构】
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西藏民族学院信息工程学院,东南大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2014年18期
【基金项目】
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教育部新世纪优秀人才支持计划（NCET-12-0119）,江苏省青蓝工程
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