论文部分内容阅读
提出了一种由压电晶片驱动的新结构微泵，采用精密机械加工工艺制作而成。设计了预应力阀膜，组装压电微泵，对预应力阀的可靠性和压电微泵的液体输送特性做了研究。通过系统的实验研究证明：预应力压电泵具有很好的防倒吸能力，稳定性高，具有很好的工作性能，在250V，200Hz方波信号下，流速可达5．5027mL／min，且适于微型化，可为该类型泵的实际应用提供有意义的借鉴。