用金属有机溶液和浸渍法制备SiO2和TiO2光学薄膜

来源 :华南师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jlcclb

【摘要】

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采用TiO2和SiO2的金属烃氧基在乙醇溶液中进行水解反应,制成胶状非晶态物质溶液.用浸渍法在玻璃基底上制备出多层TiO2/SiO2介

【作者】

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黎夏生熊予莹廖秉良

【机构】

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华南师范大学物理系,华南师范大学实验中心

【出处】

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华南师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

1989年1期

【关键词】

：

金属有机溶液介质复合膜浸渍提拉法焙烧温度薄膜厚度 meta organic solution dielectric multi-films dippin

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采用TiO2和SiO2的金属烃氧基在乙醇溶液中进行水解反应,制成胶状非晶态物质溶液.用浸渍法在玻璃基底上制备出多层TiO2/SiO2介质复合膜.它具有涂膜设备和工艺简单,成本低等特点.作者对溶液配制、涂膜工艺和膜的结构进行了初步研究.由实验得出膜厚d与溶液浓度C及提拉速度V的关系;给出了膜厚随其热处理温度的变化;并用扫描电镜

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