玻璃基Pt/Pb（Zr0.4Ti0.6）O3/ITO电容器的结构及物理性能研究

• 作 者: 周阳 程春生 赵敬伟 郑红芳 赵庆勋 彭英才 刘保亭
• 机 构: 河北大学物理科学与技术学院,保定学院,河北大学电子信息工程学院
• 出 处: 无机材料学报
• 发表日期: 2010年3期
• 关键词: Pt/PZT/ITO 溶胶-凝胶法 电学性能 Pt/PZT/ITO sol-gel method electric property
• 基金项目: 国家973前期专项（2007CB616910）, 国家自然科学基金（60876055）, 河北省自然科学基金（E2008000620 E2009000207）, 教育部基金（207013）, 河北省应用基础研究计划重点基础研究（08965124D）

采用溶胶-凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/Pb（Zr0.4Ti0.6）O3（PZT）/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有（101）高度择优取向.铁电电容器具有良好的保持特性和抗疲劳特性,具有较大的剩余极化强度和电阻率,5V电压下的剩余极化强度和电阻率分别为41.7μC/cm2和2.5×109Ω.cm;漏电流测量结果表明电压小于0.8V时为欧姆导电机制,当电压大于0.8V时,漏电流满足肖特基发射