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本文从振动对多丝切割机切割硅片的质量影响出发，对加工区域内的受力进行了一定的分析，同时基于对系统的分析，采用Hamilton原则进行系统建模，并且利用有限元方法对系统求解，得出了不同系统参数对系统固有特性的影响。并提出了系统参数的一般设置，达到了预期的效果。
多丝切割机加工过程与钢丝振动
【摘 要】
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本文从振动对多丝切割机切割硅片的质量影响出发，对加工区域内的受力进行了一定的分析，同时基于对系统的分析，采用Hamilton原则进行系统建模，并且利用有限元方法对系统求解，得出了
【机 构】
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上海大学机械工程与自动化学院
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2006年6期
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