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本文讨论利用激光器产生亚微米光斑、在涂有光刻胶的磁盘上曝光的有关技术。给出了伺服图形预（光）刻机的系统结构、光路及刻录头设计，提出了伺服图形微斑记录曝光模型。
伺服图形预刻机亚微米光斑曝光技术
【摘 要】
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本文讨论利用激光器产生亚微米光斑、在涂有光刻胶的磁盘上曝光的有关技术。给出了伺服图形预（光）刻机的系统结构、光路及刻录头设计，提出了伺服图形微斑记录曝光模型。
【机 构】
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华中理工大学计算机系
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1995年2期
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