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洁净室设备内环境是产品最近的环境，设备内洁净度直接影响产品品质，随着现在科学技术的高速发展，对生产设备内部环境洁净度要求越来越高。通过薄膜晶体管液晶显示模块（TFT-LCD）生产线设备内环境洁净度的提升，得到了非常重要的一线数据，积累了很多经验。粒子（Particle）是洁净间产品品质最大的敌人，设备内环境就是产品的环境，设备内环境洁净度的改善和控制是非常重要和必要的。