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利用溶胶-凝胶法在（111）Pt／Ti／SiO2／Si衬底上成功制备了无铅（Na0.85K0.15）0.5Bi0.5TiO3（NK—BT）铁电薄膜。利用XRD和原子力显微镜（AFM）分别对薄膜的晶化行为和表面形貌进行了表征。结果表明，在一定温度范围内，随着热分解温度和退火温度的升高，薄膜的晶化程度变得越来越完全，晶粒变得更加均匀致密。当热分解温度为450℃、退火温度为700℃时，薄膜表现出最优的晶化行为，其铁电性能良好，剩余极化强度（Pr）和矫顽场强（Ec）分别为10．37μC／cm^2和78．2kV／c