【摘 要】
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为了实现对异丁烯气体的有效检测，采用气溶胶辅助化学气相沉积（AACVD）技术在氧化铝基底表面合成出氧化铬(Cr2O3)及W掺杂Cr2O3(W/Cr2O3)薄膜。通过SEM、TEM、XRD及XPS等检测手段对Cr2O3及W/Cr2O3薄膜的微观形貌、晶体结构和元素结合价态进行分析。结果表明：Cr2O3薄膜厚度约为20 μm，由粒度为50 nm左右的纳米颗粒组成，其结构较为松散，而W掺杂Cr2O3后所
【基金项目】
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宁夏自然科学基金（No.2022AAC03344）； 北京市教委科技计划（No.KM202011232012）； 国家自然科学基金（No.51405026）；
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为了实现对异丁烯气体的有效检测，采用气溶胶辅助化学气相沉积（AACVD）技术在氧化铝基底表面合成出氧化铬(Cr2O3)及W掺杂Cr2O3(W/Cr2O3)薄膜。通过SEM、TEM、XRD及XPS等检测手段对Cr2O3及W/Cr2O3薄膜的微观形貌、晶体结构和元素结合价态进行分析。结果表明：Cr2O3薄膜厚度约为20 μm，由粒度为50 nm左右的纳米颗粒组成，其结构较为松散，而W掺杂Cr2O3后所获薄膜结构致密，颗粒粒度约为15 nm，尺寸明显减小，Cr2O3及W/Cr2O3薄膜均具有单一的六方相晶体结构。气敏测试结果表明，在400℃工作温度条件下，基于W/Cr2O3薄膜所制备的气体传感器相较于Cr2O3气体传感器对2×10-5异丁烯的灵敏度由原来的1.11提升为3.55，并展现出良好的稳定性、抗湿性和气体选择性。
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