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分析了影响射流式水冷镜形变的各种因素,利用ANSYS有限元分析软件,对各项结构参数对镜体形变的影响进行了数值模拟,探索出射流式水冷镜结构设计的一般规律,得到了镜体结构的优化设计方案。数值结果表明：在镜体直径80mm、镜面净吸收功率100W、光斑直径25mm、使用硅作为镜体材料的情况下,射流式水冷镜镜面最大形变可低至0.07μm,明显优于其它类型的水冷镜。