【摘 要】
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清华大学微电子学研究所承担的“七五”国家重点科技攻关项目“1～1.5 μm成套工艺开发及相应水平大规模集成电路的研制”取得丰硕成果。最近获得了国家计委、国家科委、财政部
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清华大学微电子学研究所承担的“七五”国家重点科技攻关项目“1～1.5 μm成套工艺开发及相应水平大规模集成电路的研制”取得丰硕成果。最近获得了国家计委、国家科委、财政部联合颁布的国家“七五”科技攻关的表彰。机电部于1991年9月29日在清华大学主持召开了这个项目的技术
Institute of Microelectronics, Tsinghua University, “75” national key scientific and technological project “1 ~ 1.5 μm process technology development and the corresponding level of large-scale integrated circuit development” has yielded fruitful results. Recently, the State Commission of Science and Technology, the State Science and Technology Commission and the Ministry of Finance jointly awarded the national “Seventh Five-Year” scientific and technological commendation. Electrical and Mechanical Services Department in September 29, 1991 held at Tsinghua University, the project’s technology
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