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【摘 要】
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对水平式MOCVD反应器混合进口、分隔进口以及分隔板离衬底不同距离的情况下，反应物浓度分布和生长速率进行数值模拟。在模拟中首先对比混合进口和分隔进口反应器中反应物的浓
【机 构】
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重庆能源职业学院,北京维拓时代建筑设计有限公司,江苏大学能源与动力工程学院,福建海峡建筑设计规划研究院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2015年1期
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