鉴相型容栅传感器由偶次谐波所引起的原理性测量误差的分析

来源 :中国计量学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangleisxh1234
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本文以付里叶分析方法,对鉴相型容栅传感器的输出函数v(t,x)进行了典型分析,发现了由偶次谐波所引起的原理性非线性测量误差,并指出其原因在于C_i(x)的构造,即容栅尺电容极板的几何构造.因此在进行容栅尺电容极板的几何构造设计时,必须使其C_i(x)的偶次展开项的系数最小,从而使原理性测量误差为最小,这就是设计时必须依据的准则之一。
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